中国半导体装备怎样突围？五星聚首开出“良方”|半导体|龙门阵_集微网 ...
集微网消息（文/木棉、茅茅、Oliver、Aki），比年来，在国家诸多办法的推动下，中国的半导体财产迎来了迅猛的发展。而对于晶圆制造和装备而言，又是不可分割的团体，若想要推动中国半导体供给链的发展和财产的进步，两者缺一不可。那么在中国晶圆制造财产大发展的配景下，中国半导体装备财产在环球的位置怎样？中国晶圆制造怎样与本土装备厂商联动，又怎样实现中国半导体装备财产的突围？
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4月3日晚，第七期集微龙门阵之“突围！晶圆制造大发展下的中国半导体装备”约请四位重量级高朋乐成举行了线上互动交换运动，通过爱集微APP线上直播到场超22000人次，到达“集微龙门阵”运动创办以来最高，通过腾讯视频集会、新浪微博、百度视频、西瓜视频、bilibili等渠道观看直播、到场互动的人数也快要8000人次，总到场人数超30000人次。
本期集微龙门阵由瑞芯微CMO 、中国半导体投资同盟副秘书长陈锋在线主持，中芯国际集成电路制造有限公司团结CEO赵水师，北方华创科技团体股份有限公司董事长赵晋荣，盛美半导体装备(上海)有限公司董事长王晖，上海至纯清洁体系科技股份有限公司董事长蒋渊等高朋一起各抒己见，共同探究了晶圆制造大发展下的中国半导体装备怎样突围。
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中芯国际集成电路制造有限公司团结CEO赵水师
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北方华创科技团体股份有限公司董事长赵晋荣
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盛美半导体装备(上海)有限公司董事长王晖
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上海至纯清洁体系科技股份有限公司董事长蒋渊
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瑞芯微CMO 、中国半导体投资同盟副秘书长陈锋
高朋围绕“怎样对待中国晶圆厂建厂大跃进？”“中国半导体装备财产在环球的位置”“中国晶圆制造与本土装备厂商的联动”“中国半导体装备财产可否取得突围？”等话题举行深进探究，泛论财产将来发展。
以下为高朋的观点汇总，供各人参考。
怎样对待中国晶圆厂建厂大跃进？
中芯国际集成电路制造有限公司团结CEO赵水师：
一方面，环球在IDM范畴有些技能节点的产能是供过于求的，同时环球在代工范畴供不应求，由于越来越多的公司用代工厂做本身的产物。
这就造玉成天下晶圆总面积每年都要增长，才气满意需求，以是说在代工范畴仍旧供不应求，每年大概发展6%~9%，算上每年的折价，晶圆片的总量每年大概发展百分之十几。
别的，财产分配也是不匀称的。在整个代工行业，如今最紧缺的是7nm和14nm，其次是0.18μm和0.15μm。
另一方面，从中国的环境来看，中国本身可以或许生产芯片的数目占总生产量的比例黑白常小的，中芯国际占的比例还不到1%，这么小的一个比重阐明中国半导体的供给照旧远远不敷的。
但是随着时间的推移，我们对已有技能把握得越来越好，乃至比肩国际、大概逾越国际公司，在这种环境下，假如能在国内制造的话，国内企业会优先选择在国内制造。
以是在国内的需求上，现在国内晶圆厂严峻短缺，将来几年内，国内的产能也将是严峻短缺。固然国内盖了许多厂房，但产能还没起来，现在的产能远远不能满意需求，照旧处于供不应求的状态。
北方华创科技团体股份有限公司董事长赵晋荣：
一是，中国建了这么多厂房，但是到底有多少产线能建起来，真的开始量产，实在照旧两回事。
二是，北方华创除了做集成电路以外，也在做LED、平板表现、光伏这些相干的半导体装备。
从几年前的中国发展环境来看，做LED财产的时间和国际上比非常落伍，但是几年的时间中国已经成为全天下最大的照明大国。以是有量的积聚才会有质的改变。集成电路范畴，国内和国外现在的差距非常大。但是这也必要一个量的积聚过程，假如量做到肯定水平了，他以为，天然而然技能就会跟上来。
三是，从当前的国际形势来看，动荡的国际形势大概也促使中国必要在将来几年里有更大的发展。
盛美半导体装备(上海)有限公司董事长王晖：
市场方面，如今中国半导体芯片市场的斲丧量很大，具有几千个亿级别的市场需求。
技能方面，颠末十几年的发展，技能到了可以量产的阶段。与此同时，中国也在积极地培养人才，对财产有很积极的作用。
在投进上，中国的经济发展到这个阶段，已经有了肯定的资源积聚，并举行了肯定的投进。
现阶段中国占天下半导体装备大概20%左右，10%左右是外资公司，本土企业在10%左右，将来中国的装备斲丧会在占比到达40-45%才到饱和点。假设外洋企业不再增长，本土企业的量将是如今的3倍，以是，每年的投资会连续增长。
因此，这是一个巨大的发展时机，将来中国企业不止替换国外企业，还要逾越国外，为环球的半导体装备产业提供中国的方案。
上海至纯清洁体系科技股份有限公司董事长蒋渊：
中国晶圆厂的希望是“迟到的发展”。在1997-1998年的时间，开会讲到这个话题，是全员缄默沉静的状态。到了2000年初左右，中国在集成电路范畴同样照旧停滞的状态。但是随着国家从光伏、半导体照明等范畴逐步试点做起来，国家在大的财产上都履历“沙、土、林”的过程。
就晶圆制造而言，放眼天下最早的时间只有几家企业在做，实在就是“戈壁”的状态。随着简朴的半导体工艺的发展，逐步造就了许多的人才，然后把“戈壁”酿成了“泥土”。近来几年国家在先辈制程、存储等方面的发展，实在就是泥土在夯实。
将来肯定会是发展成“生态林”的过程，以是总体上来讲，在当局和社会的各种资源投进下，鼓励更多到场者参加对财产的推动是有积极作用的。
中国半导体装备财产在环球的位置
中芯国际集成电路制造有限公司团结CEO赵水师：
中国装备厂商在环球现在属于第二梯队。国外装备财产颠末多年的吞并，出现“强者更强，弱者出局”的市场格式，市场中剩下的竞争者都是龙头企业，只研发和生产上风装备产物。
反观国内，由于国内没有先辈的晶圆厂和研发者往与装备厂商互助，国内装备厂只能研发国外龙头企业的替换装备。现在只有快速抢占每个先辈工艺制程都必要的通用装备市场，才气积聚到更多的履历。
国内半导体装备财产面对着什么题目？可以概括为一步落，步步落，重要表现在三个方面：
起首，半导体财产通常是“一代技能、一代装备、一代产物”，假如技能研发跟不上新建晶圆厂的速率，便注定着要落伍；
其次，晶圆厂内部的工程师和厂长们都有一个口头禅，即接纳proven tools（被证实过的工具）和proven teams（被证实过的团队）。对于晶圆厂而言，思量的性价比并不是一台装备的性价比，而是这台装备所带来的回报率，因此晶圆厂会更乐意接纳技能成熟的装备，其试错的大概性较低；
末了，晶圆厂在选择互助的装备厂商时，会优先思量装备厂商将来的生存率。由于假如该装备厂面对着被吞并大概停业的大概性，那么晶圆厂也将面对极为被动的局面。
固然这一题目不可制止，但也存在着较大的市场时机。对于中国装备厂商而言，固然尚处于替补的位置，但遇上了中国产业大发展的时期，因此起首要做的便是提拔装备的贩卖数目。只有贩卖的装备数目越多，才气积聚更多的履历和技能，从而让公司发展强大。
北方华创科技团体股份有限公司董事长赵晋荣：
与国外相比，中国的装备财产仍有很长的路要走。
五年前，国内装备市场尚处于一片空缺，很难想象到五年后的本日会是这般情形。颠末多年发展中国装备财产实现了从无到有的过程。五年前中国还没有一台12英寸装备，但是如今却已有几百台装备投进到12英寸生产线中，这无疑是一个巨大的进步。
受疫情影响，许多企业面对迟迟不能复工的局面。而北方华创2月10日便已正式复工，重要缘故原由在于有大量的装备等候组装和发货。
从现在来看，固然在先辈工艺制程的装备方面（好比EUV装备）无法与国外巨头相比，但是究竟中国装备财产已经取得从无到有的进步，最大的挑衅实在在于怎样办理软件和零部件的国产替换。
作为一家国产装备厂商，挑衅国外巨头是一个空想，随着装备需求量的不停增长，大概再过三至五年的发展，国产装备确实可以或许与国外巨头相抗衡，但如今国内厂商起首要思量的照旧怎样让企业更好地存活下来。
盛美半导体装备(上海)有限公司董事长王晖：
纵观半导体装备财产，重要的特点在于一是装备龙头企业生存周期特殊长，二是装备龙头企业由于结构较早，把握着至关紧张的IP技能，使得厥后者在发展过程中肯定会碰到IP停滞，这也是国内装备企业在发展过程中最大的挑衅。
对于国内装备企业而言，将来在5nm和3nm等先辈工艺制程方面，实在照旧存在着肯定的机会。以盛美研发的中国首台高端12英寸45nm半导体单片洗濯装备为例，固然一开始只在45nm、28nm生产线验证乐成，但厥后发现该装备也能洗濯19nm以下的小颗粒。
因此，国内半导体装备企业可以依赖国内的生产线，将好的点子和装备联合起来，起首在不黑白常先辈的生产线上举行开端验证，然后再将其推向国际生产线。
中国半导体装备财产肯定会从中端向高端发展，现阶段国内急需办理国产化题目，而将来才需办理国际化题目。中国半导体装备企业负担着一个重任：研发召盘级的装备才有大概进进国际化市场，为中国制造开发出新天地。因此，固然现在国产装备与国外巨头仍存在差距，但应该发现本身的刚强和上风，向更高的目的进步！
上海至纯清洁体系科技股份有限公司董事长蒋渊：
现在中国的半导体装备企业在环球占比仍旧较少，即便是北方华创和中微半导体所占的市场份额也较少。从湿法范畴来看，高端装备也只有少数几家厂商在研发，几家加起来也只有10%的市场份额。固然占比力小，但这也意味着存在巨大的市场增量空间。
现在客户正处于高速成恒久，因此也为国内半导体装备企业带来了很好的发展机会，“黄金窗口期”已然已经打开。对于国产装备企业而言，团队是否有本领捉住市场机会是最紧张的。
纵观环球，日本和韩国半导体财产都曾迎来黄金阶段，从而动员了一批良好的装备企业快速发展。因此随着环球半导体财产渐渐向中国转移，肯定会诞生几家巨头企业，而国产装备厂商固然只是财产链中很小的一个群体，但是肯定是财产链中生命力最茂盛的群体，即小而有气力。
中国晶圆制造与本土装备厂商的联动
中芯国际集成电路制造有限公司团结CEO赵水师：
许多人都说第一个用别人装备的是第一个吃螃蟹的人。我以为这个比喻不适当，客观来讲吃螃蟹并不是一件“坏事”。更适当的比喻应该是排弹好汉，由于一旦出现不测，就会报废巨额的硅片，客户大概还会因此告状。
财产联动除了要有排弹好汉，还必要共同创建一条中试线，这条中试线专门用国产装备构成，而且必要提前三年举行测试和评估。
为什么要如许做？我给各人举个例子，实在国产装备成熟的速率非常快，抛开太阳能、LED、三五族化合物半导体产线装备（根本上都是国产的）不谈，即便其他的装备国产做的也非常快，非常好。
但是，我们丧失的时机重要是没有一个提前量，国产12英寸装备要比8英寸好得多，这重要有以下三个缘故原由：
第一就是国内装备厂商的利润很少，此前一段时间里国内装备厂商做研发的钱重要靠国家补贴，但国家只会补贴做12英寸的装备，8英寸的没有补贴，因此各人都不肯意往做8英寸的装备。
第二就是12英寸厂是将来的工厂，各人都在规划12英寸厂，比方三年以后要建一个工厂，那么如今装备另有时间往评估和修改错误，三年之后假如没题目，那么新工厂至少一半能买这些颠末评估的装备。以是12英寸装备比力好规划，但8英寸大多都是“心血来潮型”的。
第三就是8英寸的二手装备许多，大多是从一些IDM关停的工厂里出来的，只必要非常之一的价格，翻新完了也只是原价的40%左右。简朴而言，国产的全新8英寸装备起首代价要低至入口装备的40%左右，才气和市面上的二手入口装备竞争。以是从投进产出比来讲，8英寸的二手入口装备多，限定了国产8英寸装备发展。
在将来，中芯国际和其他国内公司仍旧必要往做排弹好汉，同时要有本身的计谋，要体系的往规避大的丧失，肯定要探讨好怎么往做这些事变。但最佳的办理方法照旧创建一条中试线，反面大生产相互影响。由于装备是要“赛马拉松”的，新装备第一年做这个产物没题目，第二年做别的一个差别的产物大概就有题目，大概照旧做同样一个产物，但是装备老了也大概出现题目，它要走过一个生命周期才是真正被证实，因此假如有一条中试线那才是最好。
北方华创科技团体股份有限公司董事长赵晋荣：
此前几年，我们几十种装备的第一台都是在提供给中芯国际、华虹、长江存储等国内大厂利用，他们也给了我们许多的支持。走到本日，得到生产线的承认这个过程已经是已往时，由于一台装备除了有性能、可靠性、良率这些题目，还包罗长周期的题目，每个晶圆厂都会对此表现担心。但这是三四年前的题目，如今一台台突破，已经跨过了这个坎。
如今面临的是另一个题目，就是怎样与晶圆厂形成相互绑定的战略互助同伴关系，夺取在研发的过程中，就把装备推进往。假如研发的时间满是入口装备，到生产的时间再做替换就非常有难度。
国内装备厂在根本的装备原理突破后，更多的是满意晶圆厂的特别工艺要求，国内装备厂具备快速相应的本领，因此在8英寸IGBT、MEMS、12英寸功率等方面，国产装备体现很好。如今国内装备企业都表现很有信心，由于各人的作业做得已经差未几了，如今只必要客户的一个信托。
装备能不能得到客户的承认，乃至重复购买，肯定会有性价比方面的考量，但最紧张的照旧技能因素。
盛美半导体装备(上海)有限公司董事长王晖：
中国半导体装备的发展，真的离不开中芯国际、华虹这些国内大厂的支持。
中国装备企业最大的刚强就是研发团队就在四周，只要把服务、技能、可靠性不停提拔，将来的技能开辟性做好，国产装备企业另有很强的竞争气力。
在与客户积极互助中，帮客户快速办理题目，这是装备企业和国内晶圆厂互助的根基之一，只要两边创建了信托，就能凝结巨大的气力。随着国产装备不停的进进产线，预计客户对国产装备的担当度会越来越高。
吃水不忘挖井人，没有一些公司的早期展垫，不会有本日半导体装备发达发展的趋势。将来国产装备厂肯定会更加积极，提供更好的服务，更好的技能方案，更加积极研发。
国产装备之间的竞争不大，应该都往打国外供给商，这块大饼实在空间充足大，假如有两三家竞争者也很正常，有竞争才气够有更好的技能和团队服务。
但是，发起国产装备商间不要乱打代价战，由于装备厂的毛利很紧张，假如毛利降到25%以下之后，根本上就很难支持后续研发。
末了，国内的装备商肯定要把服务质量做得更好，从代价链上往增长服务，让装备更稳固。
上海至纯清洁体系科技股份有限公司董事长蒋渊：
在联动当中，比如大手牵小手。
大手就是卑鄙的大客户，他们可以或许给予本土厂商许多实验的时机，他们的反馈可以或许资助本土厂商发展。原先以为在这种联动当中必要很长一段时间的机台替换，才会走到共同开辟的节点，但如今财产发展很快，和客户做互助开辟已经开始。
更远的层面上来讲，实在如今资源方面也会做一些联动，好比在长江存储的创新中央，至纯会作为投资者到场此中，资助创新中央举行研发。反过来，一些上市公司做战略融资的时间也会和卑鄙举行联动。
团体而言，在将来的八到十年，卑鄙厂商跟装备厂商的互动速率会加速，条理会递进，尤其是在共同开辟工艺的时间。真正从研发的角度来讲，实在用户就是大脑，会提出许多工艺需求，必要当地专业厂商往跟踪。以是上卑鄙联动会形成一个良性的、可连续的状态。
不外，走出国外还必要一个过程。现在看来国内空间充足大，必要从够得着范畴劫掠市占率，一个工艺段一个工艺段往做，一个机型一个机型往做替换。
简言之，装备是用出来的，不是造出来的。
中国半导体装备财产可否取得突围？
中芯国际集成电路制造有限公司团结CEO赵水师：
第一，中国的产能是否供过于求。
一方面，现在固然有许多工厂正在建立，但是中国如今缺少先辈的技能，以是建立5nm、7nm工厂黑白常有须要的。
另一方面，即便是如今成熟的，只能生产最传统、最尺度乃至是早就没人做的产物的工艺，也并不意味着就毫无用武之地。“特别应用，特别工艺，特殊紧张”，成熟工艺再次开辟之后，将会在这三“特”范畴大规模发展。
比方，中芯国际现在也在做BCD、MCU等八大平台产物，这些产物的产能在将来将有很大提拔空间。乃至可以说，这些产物的产量会凌驾最先辈技能的产量。
因此，国内正在建立的工厂，在将来大概都各有所长，会生产这类成熟的产物，而依赖这些成熟的装备和技能，国内的财产链肯定可以或许构建起来。
第二点，应当变化理念，这种变化重要表现在工作风俗上。
举个例子来说，许多人风俗开日本车，观念之中也以为日本车可靠性高，但是实在如今国产车的性能和质量已经提拔到可以与日本车媲美的水平。
这种风俗性的头脑折射到半导体财产链中，对现在厂商的工作头脑和风俗影响很大，这就必要在将来不停的“教诲”工厂的决议者们、工程师们：国产装备已经可以或许做的和国外装备一样好。
因此，如今要做的就是领导各人开始利用国产装备，举行风俗的变化，一旦可以或许把利用国产装备造就成风俗，在将来就很轻易发展了。
第三点，国产装备的生存空间题目。
假如装备厂商研发的产物没有毛利润或红利不敷，就很难有充足的资金支持下一代产物的研发，装备厂商也就没有生存空间。
同样的原理，假如装备厂商卖的产物未几，红利未几，乃至于当前的产物都是赔钱的，就更没有本领往研发下一代产物。
因此，从国内财产链的角度来看，应当包管装备供给商可以或许赚到钱。用国内的装备并不是为了节流本钱，榨干国内的供给链，因此，应当要有最少的公正的尺度：假如国内的装备可以或许到达国外装备一样的水准，就应该能拿到一样的代价。
第四点，更好的使用大咖的个人本领。
国内厂商起步的时间约请了许多有履历的大咖，他们在技能本领上并不弱于国外的专家，盼望国内的装备厂商在运用人才的时间，将大咖的个人本领变化为构造和公司团体本领的提拔。
北方华创科技团体股份有限公司董事长赵晋荣：
中国的国产装备颠末多年的发展可以或许到达现在的进步是五年前所不敢想象的，同时，也无法想象五年以后中国的装备厂商可以或许到达怎样的高度。
对于国内的装备厂商而言，速率快、服务好、本钱低，这些都是自然的上风，而且还背靠中国市场这一环球最大的半导体装备市场。
关键的是，现在市场上正在涌现IGBT等新兴的应用。在这些新兴的应用市场上，中国厂商并不落伍。这些必要新技能支持的新兴应用市场将是中国厂商弯道超车的尽佳时机。
别的，中国的装备企业和芯片企业在将来最好的联动模式肯定是双赢的，装备企业在将来可以或许为芯片企业带来利益，带来长处，才会更有前程！
盛美半导体装备(上海)有限公司董事长王晖：
将来五到十年将是中国装备企业发展的黄金时期，从盛美的角度来看，要实事求是把产物做强，把洗濯装备等产物做好，将可覆盖的装备产物的范围从现在的50%提拔到85%左右。别的，盛美还将把镀铜、抛光装备等市场做强、做大。
固然，除了依赖产物把国内市场做强、做大以外，盛美还将依托在科创板和美股上市的上风，做出中国制造和中国创造的产物，终极让国内的产物进军国际市场。
同时，盛美盼望运用中国员工的才智和本领，为环球的半导体财产做贡献！
上海至纯清洁体系科技股份有限公司董事长蒋渊：
固然中国装备厂商要实现突围并不轻易，但是信赖在中国这片地皮上是可以实现的。
固然，须要的条件是要有任务感，沉下心来脚踏实地的做。另一个条件是，国内芯片厂商可以或许给装备企业提供实验的时机。
现在，国家将半导体财产视为紧张的、战略性的财产，这将推动半导体财产在将来的八到十年不停的发展。
瑞芯微CMO、中国半导体投资同盟副秘书长陈锋：
固然中国的装备财产才刚刚起步，但是其紧张性是毋庸置疑和众所周知的。但是对于芯片财产而言，要实现真正的自主可控，装备才是最紧张的。
国产装备在将来另有很长的路要走，要实现崛起就必要国产装备厂商。现在，国内装备已经有了很好的起步，信赖在将来中国装备厂商会有非常好的发展，并到达天下程度！（校对/Aki）
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